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| 城大研新型真空紫外光超構透鏡 |
| 16 Jun 2022 |
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半導體是電子產品晶片的原材料之一，製作時須使用的真空紫外光成本昂貴，亦須大型機器生產。城市大學電機工程學系的團隊研發新型真空紫外光超構透鏡，直徑僅四十五微米，新透鏡使用方便之餘，亦較現時生產方法效能更高。新型超構透鏡將有助開發低損耗的真空紫外光部件，使真空紫外光的應用更普及。
真空紫外光用途廣泛，包括半導體生產、光化學及材料科學等領域，但部分波長的真空紫外光易被空氣中的氧氣吸收，製作真空紫外光的過程須在真空腔室等特別空間進行，需要以大型系統製作，成本高昂。設計及製造系統運用透鏡時，亦因材料易碎而面臨不少限制。
助開發低損耗部件
城大電機工程學系講座教授蔡定平，與研究助理教授陳沐谷帶領的團隊，獲大學教育資助委員會及研究資助局的「卓越學科領域計畫」撥款，偕美國及台灣多所大學研發新型真空紫外光超構透鏡，由三角形氧化鋅納米天陣列組合而成，直徑僅四十五微米，將能大幅精簡真空紫外光系統的設計，同時推動開發低損耗真空紫外光部件。
透鏡使用的納米結構，有助轉化真空紫外光的波長，更可將轉化後的紫外光，聚焦至直徑小於二百萬分之一米的圓點上，而聚焦光點的功率密度，亦比原有方法增強二十一倍。蔡定平形容，新技術較原有透鏡更輕巧，效能亦更高，為業界提供更便利的方法生產和聚焦非性真空紫外光。他相信研究成果可通過半導體電子製造過程大量生產，並能推動真空紫外光光學技術和市場的革新，研究結果已於學術期刊《科學進展》發表。 |
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